Trealamh Lárnach Líne Táirgeadh Uathoibrithe Glanadh PR do Dhéantóirí Taispeána LCD
Is trealamh lárnach próiseas fliuch é an líne táirgeachta glantacháin PR (photoresist) i ndéantúsaíocht taispeáint LCD. Úsáidtear é go príomha tar éis an phróisis fhótaliteagrafaíochta ar an tsubstráit eagar chun fótaireasaithe iarmharach, iarmhar eitseála, agus micrea-éilleáin dromchla a bhaint go críochnúil. Is trealamh ríthábhachtach é chun cruinneas ciorcad an phainéil a chinntiú agus chun toradh an táirge a fheabhsú. Oireann sé go foirfe do thimpeallacht dhian táirgthe seomra glan Aicme 100, sroicheann sé oibríochtaí glantacháin lúb dúnta saor in aisce, cruinneas, uathoibrithe agus truaillithe.
Agus é ag díriú ar an iarmhar fótaileictreach dearfach agus diúltach tar éis an phróisis fhótaliteagrafaíocht, úsáideann sé próiseas glantacháin ultrasonaic ilchéime + sruthlaithe thar maoil uisce íon chun smionagar, ábhair shalaithe orgánacha, cáithníní deannaigh agus neamhíonachtaí eile atá fágtha tar éis eitseáil fótailiteagrafaíocht a bhaint go domhain. Féadann sé iarmhair mhicreascópacha a bhaint go críochnúil faoi bhun 0.5μm, rud a chosc ar lochtanna cosúil le ciorcaid oscailte painéil, spotaí geala, agus spotaí Mura de bharr neamhíonachtaí. In éineacht le córas scagacháin chruinneas atá 0.1μm ar airde, cuireann sé cosc ar éilliú tánaisteach. Baintear amach saor ó dhamáiste go críochnúil, rud a sheachnaíonn tionchar na sraitheanna greamaitheacha iarmharacha ar phróisis eitseála agus brataithe ina dhiaidh sin, le ráta clúdach bainte de 100%.
Rialaíonn an modúl rialaithe leictreastatach tógtha-i ESD go docht an luach leictreastatach laistigh den raon Níos lú ná nó cothrom le ±100V. In éineacht leis an teicneolaíocht seachadta roth maighnéadach frith--cuas agus neamhtheagmhála, seachnaíonn sé urscaoileadh leictreastatach ó dhamáiste a dhéanamh do chiorcadaíocht bheachtais an phainéil, agus cosc a chur ar scratches, chipping, agus giniúint deannaigh ó fhrithchuimilt ar an tsubstráit ghloine, rud a uasmhéadaíonn cosaint sláine an tsubstráit.
Seomra tástála teocht tairiseach teocht ard agus íseal
Comhtháthaíonn croí an trealaimh líne táirgeachta glantacháin agus triomú uathoibrithe do mhonaróirí scáileáin LCD modh dé-thriomú: gearradh scian aeir agus -triomú leanúnach teocht an aeir te. Baineann sé seo stains uisce amach go tapa ó dhromchla an tsubstráit, ag baint amach comhartha uisce-saor in aisce agus inrianaithe-triomú saor. Tar éis a thriomú, tá cion taise dromchla an tsubstráit ag druidim le nialas, rud a cheadaíonn aistriú díreach chuig an gcéad phróiseas eile gan próiseáil tánaisteach, ag cinntiú leanúnachas próisis. Cumasaíonn córas rialaithe PLC oibriú lúb dúnta lán-uathoibríoch luchtaithe, suite, glantacháin agus díluchtaithe. Tacaíonn sé le fíor-ama-feidhmeanna monatóireachta agus aláraim chun coigeartú comhchruinnithe tuaslagáin a ghlanadh, teocht, taise agus glaineacht. Cuireann dearadh brú diúltach an tseomra séalaithe agus grádán cosc ar sceitheadh gáis cheimiceach. In éineacht le timpeallacht brú dearfach seomra glan Aicme 100, cuireann sé ar chumas freisin athchúrsáil uisce ultrapure agus aicmiú agus aisghabháil leacht dramhaíola, ag comhlíonadh na gceanglas maidir le coigilt fuinnimh agus cosaint an chomhshaoil.
I gcomparáid le glanadh láimhe traidisiúnta, tá buntáistí do-athsholáthair ag línte táirgeachta glantacháin PR lán-uathoibrithe: tá méadú níos mó ná 3 huaire ar éifeachtúlacht glantacháin, agus is féidir beagnach 10,000 foshraith ghloine a phróiseáil in aghaidh an tsift, ag giorrú go mór an timthriall próiseas; tá an comhsheasmhacht glantacháin den scoth, ag baint go críochnúil le micrea{3}}iarmhair níos lú ná 0.5μm, ag rialú ráta lochtanna an phainéil laistigh de 0.5PPM, ag seachaint go héifeachtach lochtanna cosúil le spotaí geala, spotaí dorcha, agus briseadh ciorcaid ar an scáileán; glacann an trealamh dearadh coigilte uisce agus fuinnimh, le ráta ard aisghabhála uisce íon agus bailiú agus cóireáil rangaithe fuíolluisce, a chomhlíonann ceanglais maidir le cosaint an chomhshaoil; Tá an meaisín iomlán déanta as cruach dhosmálta PVC agus SUS304 resistant creimeadh, le séalaithe láidir, glanadh agus cothabháil éasca, agus tá sé oiriúnach le haghaidh oibriú leanúnach 24 uair an chloig i seomraí glan, ag éirí mar threalamh caighdeánach do mhonaróirí scáileáin LCD chun línte táirge ard-deireadh a thógáil agus croí-iomaíochas a fheabhsú.
Trealamh Croí i gCeardlann Fótailiteagrafaíocht Déantóirí Taispeána LCD
Is é an trealamh nochta an trealamh lárnach sa cheardlann photolithography agus príomhréimse próisis sa phróiseas déantúsaíochta eagar LCD. Tugtar meaisín liteagrafaíocht painéil air freisin, agus is gléas próiseála fliuch optúil ardchruinneas é. Is í an phríomhfheidhm atá aige ná patrún dearadh ciorcad an tsubstráit a aistriú go foshraith ghloine atá brataithe le fótareisist trí nochtadh optúil, rud atá ríthábhachtach chun micreachiorcaid a chruthú sa phainéal. Is é an t-aistriú beacht ar an bpatrún ciorcaid ón photomask go dtí an tsubstráit gloine an réamhriachtanas le haghaidh próisis glantacháin eitseála, sciath, agus PR ina dhiaidh sin, a chinnfidh cáilíocht an scáileáin taispeána go díreach. Úsáideann an trealamh próiseas nochta neamhtheagmhála, atá oiriúnach d'fhoshraitheanna gloine LCD tanaí mórmhéide, chun scratches, damáiste agus éilliú an tsubstráit a sheachaint.
I measc na mbuaicphointí lárnacha teicneolaíochta tá córas ard-ailínithe cruinnis le cruinneas forleagan leibhéal miocrón nó fiú fo-leibhéal, ag cinntiú nach ndéantar aon ailíniú i gcruacháil chiorcaid ilchiseal agus earráidí á rialú laistigh de chúpla míle bliain de thrastomhas na gruaige; úsáid a bhaint as foinse solais nochta aonfhoirmeach agus teicneolaíocht fócasaithe dinimiciúil chun luaineachtaí fuinnimh nochta a bhaint amach<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Úsáideann an cheardlann iomlán foinse solais buí monacrómatach 589nm, ag scagadh amach go hiomlán solas tonnfhad gearr cosúil le solas ultraivialait, gorm agus bán, rud a choscann na gathanna seo ó fhrithghníomhartha fótaiceimiceacha a spreagadh roimh am sa fhótaileictreach, rud a fhágann lochtanna marfacha cosúil le mí-ailíniú patrún, línte neamhiomlána, ciorcaid ghearr, agus ciorcaid oscailte. Úsáideann an córas soilsithe teaglaim de LED buí tiomnaithe agus -scagairí ciseal dúbailte chun sceitheadh solais strae a chosc; tá doirse, fuinneoga agus fuinneoga breathnóireachta feistithe le-ábhair scagairí ultraivialait; Tá cosc dian ar fhóin phóca, ceamaraí, splancsholais ardchumhachta agus foinsí solais seachtracha eile taobh istigh den cheardlann, agus cuirtear smacht iomlán ar smacht an tsolais limistéir i bhfeidhm chun deireadh a chur leis an mbaol a bhaineann le nochtadh roimh am d’fhótairéiseach ón bhfoinse.
Réamhrá ar Seomraí Glan Aicme 100 le haghaidh Monaróirí Taispeána LCD
I réimse na déantúsaíochta ard-chruinneas LCD, is iad seomraí glan Aicme 100 (seomraí glana Aicme 5 ISO) an croí-áis táirgthe agus is príomhtháscaire iad maidir le neart teicniúil agus táirgeacht an déantóra. Úsáidtear go forleathan iad i gcéimeanna an phróisis lárnacha mar eagar, cóimeáil cille, agus pacáistiú modúl ag cuideachtaí taispeána tosaigh mar BOE, TCL CSOT, HKC, agus Tianma. Tá caighdeáin glaineachta dochta ag na seomraí glana seo, agus níl níos mó ná 100 cáithníní deannaigh ar fuaidreamh acu Níos mó ná nó cothrom le 0.5μm in aghaidh na troighe ciúbach aeir (Níos lú ná nó cothrom le 3520 in aghaidh an mhéadair ciúbach). Sáraíonn an leibhéal glaineachta seo leibhéal na seomraí oibriúcháin leighis, agus feidhmíonn sé mar "bhac crua" chun deannach, leictreachas statach agus éillithe ceimiceacha a chosc ó chur isteach ar phróisis bheachtais. Is croí-chomhpháirt crua-earraí é a chinneann cáilíocht íomhá, saolré agus ráta toraidh an scáileáin go díreach.
Tá an ceardlann deartha agus tógtha go docht de réir caighdeáin idirnáisiúnta agus intíre ISO. Glacann sé le modh sreafa aeir ingearach aontreoch, mar aon le córas scagacháin ULPA ceithre chéim (scagaire, meán-éifeachtúlachta, scagaire ardéifeachtúlachta, agus scagaire ardéifeachtúlachta), ag baint amach éifeachtacht scagacháin de suas le 9 nóiméad, agus áirithítear éifeachtúlacht scagacháin de suas le 9 9 nóiméad. criosanna marbha aeir. Ag an am céanna, déantar rialú beacht ar an gcomhshaol ar fud na toisí go léir: teocht leanúnach de 23 ± 1 céim, taiseachas coibhneasta rialaithe ag 45%-55%, staid brú dearfach a chothabháil sa limistéar glan, agus difríocht brú níos mó ná nó cothrom le 10Pa idir limistéir in aice láimhe, ag cosc iomlán ar insíothlú deannaigh seachtrach; ag smaoineamh ar an mbaol atá ag painéil taispeána i leith damáiste leictreastatach, úsáidtear urláir leibhéalta féin-eapocsa frith-statach, agus úsáidtear 304 pláta cruach dhosmálta dath seomra glan le haghaidh ballaí agus uasteorainneacha, le rialú docht ar luachanna leictreachais statach ar fud an phróisis; soláthraítear rialú breise do thruailleáin cheimiceacha leibhéal mhóilíneacha VOC agus cur isteach folaigh ar nós micrea-chreathadh, a chomhlíonann riachtanais na bpróiseas nanascála mar fhótaliteagrafaíocht, sil-leagan scannáin thanaí, agus instealladh criostail leachta.
Glacann an cheardlann dearadh criosaithe seomra glan sraitheach, roinnte ina chroí-limistéar Aicme 100, limistéar maolánach Aicme 1000, agus limistéar cúnta Aicme 10,000, le sraitheanna a chuireann cosc ar thras-éilliú, agus tá pearsanra agus línte iompair ábhair uathoibrithe scartha go hiomlán. Ní mór do phearsanra dul faoi phróiseas triarach maidir le héadaí a athrú, cithfholcadh aeir, agus braite leictreastatach, agus ní féidir leo dul isteach ach amháin tar éis culaith seomra glan coirp iomlán, lámhainní saor ó dheannach, agus gloiní cosanta a chaitheamh; aistrítear ábhair trí fhuinneoga aistrithe idirghlasa agus déantar cóireáil bhaint deannaigh agus leictreachais statach orthu; tá an taobh istigh feistithe le cochaill sreafa laminar FFU, cuntair cáithníní ar líne, braiteoirí teochta agus taise, monatóirí brú difreálach, agus trealamh eile chun monatóireacht fíor-ama agus inrianaitheacht sonraí 24 uair an chloig a bhaint amach, agus eiseoidh sé rabhaidh láithreach agus déanfaidh sé coigeartuithe i gcás táscairí neamhghnácha chun cobhsaíocht leanúnach an chomhshaoil a chinntiú.
